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超純水是在半導體制造工藝中廣泛使用的一種特殊水源。在半導體制造過程中，超純水的質量對于保證產品質量和工藝穩定性至關重要。超純水的質量參數之一，pH值，直接影響了超純水的電離度以及其在工藝過程中的各種化學反應。
超純水pH值對半導體制造工藝中的晶圓洗凈過程、化學腐蝕過程以及電離度等方面有著重要影響。合理控制超純水pH值，可以提高工藝的可控性、產品的一致性和工藝的穩定性，從而保證半導體產品的質量和性能。
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2025-09-24
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